京都セラミック加工 清水商会

窒化アルミ(ALN)

ALUMINUM NITRIDE AlN

窒化アルミ(ALN)

窒化アルミ(ALN)

特徴
  • 熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い
  • 熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える
  • Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する
  • フッ素系ガスの耐食性が大きい
  • 耐プラズマ性に優れている
用途
プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板

標準寸法表

厚み 長さ 長さ
5 210 210
10 210 210
15 210 210
20 210 210
4 300 300