京都セラミック加工 清水商会

各種セラミック材料の加工はもちろん
薄膜・厚膜によるメタライズまで

窒化アルミ(AlN)

ALUMINUM NITRIDE AlN

窒化アルミ(AlN)

窒化アルミ(AlN)

窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。
放熱性、絶縁性、耐熱衝撃性に優れ、基板材料としても注目されています。
窒化アルミ基板にはメタライズ加工が可能です。詳細はお問合せください。

メタライズ加工

窒化アルミ(AlN)の特徴

窒化アルミ(AlN)用途

プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板、半導体用基板、薄膜回路基板

窒化アルミ(AlN)特性表

  主成分 嵩密度 吸水率 硬度(HV) 曲げ強度 破壊靱性 ヤング率 ポアソン比 線膨張係数   熱放射率 熱伝道率 絶縁耐力 体積抵抗率 誘電率
      [g/cm³] [%] [Gpa] 20°[Mpa] [Mpa・m½] [Gpa]   RT~200℃[x10⁻⁶/℃] RT~400℃[x10⁻⁶/℃] (100℃) 20℃ kV/mm 20℃ 1MHz
窒化アルミ AlN ベージュ 3 0 13 350 3 320 0.29 2.4 4.5 0.93 170 15 >10¹³ 8.8
窒化アルミ(助剤レス) AlN ベージュ 3.2 0 13 300 3 430 0.29 2.4 4.5 0.93 90 15 >10¹³ 8.8
その他の特性表はこちら

窒化アルミ(AlN)加工例

その他の加工例・加工サンプル

窒化アルミ(AlN)取り扱い参考寸法表

厚み 長さ 長さ
5 210 210
10 210 210
15 210 210
20 210 210
4 300 300