各種セラミック材料の加工はもちろん
薄膜・厚膜によるメタライズまで
各種セラミック材料の加工はもちろん
薄膜・厚膜によるメタライズまで
ALUMINUM NITRIDE AlN
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。
他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。
プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板
| 主成分 | 色 | 嵩密度 | 吸水率 | 硬度(HV) | 曲げ強度 | 破壊靱性 | ヤング率 | ポアソン比 | 線膨張係数 | 熱放射率 | 熱伝道率 | 体積抵抗率 | 誘電率 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 20° | RT～200℃ | RT～400℃ | (100℃) | 20℃ | 20℃ | 1MHz | |||||||||
| - | [g/cm³] | [％] | [Gpa] | [Mpa] | [Mpa・m½] | [Gpa] | - | x10⁻⁶/℃ | x10⁻⁶/℃ | 20℃ | 20℃ | - | |||
| 窒化アルミ | ベージュ | 3 | 0 | 13 | 350 | 3 | 320 | 0 | 2 | 5 | 1 | 170 | >10¹³ | 9 | |
| 窒化アルミ | (助剤レス) | ベージュ | 3 | 0 | 13 | 350 | 3 | 430 | 0 | 2 | 5 | 1 | 90 | >10¹³ | 9 |
| 厚み | 長さ | 長さ |
|---|---|---|
| 5 | 210 | 210 |
| 10 | 210 | 210 |
| 15 | 210 | 210 |
| 20 | 210 | 210 |
| 4 | 300 | 300 |