各種セラミック材料の加工はもちろん
薄膜・厚膜によるメタライズまで
ALUMINUM NITRIDE AlN
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。
他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。
プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板
主成分 | 色 | 嵩密度 | 吸水率 | 硬度(HV) | 曲げ強度 | 破壊靱性 | ヤング率 | ポアソン比 | 線膨張係数 | 熱放射率 | 熱伝道率 | 絶縁耐力 | 体積抵抗率 | 誘電率 | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
20° | RT~200℃ | RT~400℃ | (100℃) | 20℃ | 20℃ | 1MHz | ||||||||||
- | [g/cm³] | [%] | [Gpa] | [Mpa] | [Mpa・m½] | [Gpa] | - | x10⁻⁶/℃ | x10⁻⁶/℃ | 20℃ | 20℃ | - | ||||
窒化アルミ | ベージュ | 3 | 0 | 13 | 350 | 3 | 320 | 0 | 2 | 5 | 1 | 170 | 15 | >10¹³ | 9 | |
窒化アルミ | (助剤レス) | ベージュ | 3 | 0 | 13 | 350 | 3 | 430 | 0 | 2 | 5 | 1 | 90 | 15 | >10¹³ | 9 |
厚み | 長さ | 長さ |
---|---|---|
5 | 210 | 210 |
10 | 210 | 210 |
15 | 210 | 210 |
20 | 210 | 210 |
4 | 300 | 300 |