窒化アルミ(ALN)

窒化アルミ(ALN)

特徴

• 熱伝導率・熱放射率が大きく、均熱性が高い
• 熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える
• Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウエハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する
• フッ素系ガスの耐食性が大きい
• 耐プラズマ性に優れている

用途

プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板