京都セラミック加工 清水商会

各種セラミック材料の加工はもちろん
薄膜・厚膜によるメタライズまで

窒化アルミ(AlN)

ALUMINUM NITRIDE AlN

窒化アルミ(AlN)の概要

窒化アルミ(AlN)

窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。
他のセラミックと比べて電気絶縁性が高いことも特徴です。

窒化アルミ(AlN)の特徴

窒化アルミ(AlN)用途

プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板

窒化アルミ(AlN)特性表

  主成分 嵩密度 吸水率 硬度(HV) 曲げ強度 破壊靱性 ヤング率 ポアソン比 線膨張係数   熱放射率 熱伝道率 体積抵抗率 誘電率
            20°       RT~200℃ RT~400℃ (100℃) 20℃ 20℃ 1MHz
    - [g/cm³] [%] [Gpa] [Mpa] [Mpa・m½] [Gpa] - x10⁻⁶/℃ x10⁻⁶/℃   20℃ 20℃ -
窒化アルミ   ベージュ 3 0 13 350 3 320 0 2 5 1 170 >10¹³ 9
窒化アルミ (助剤レス) ベージュ 3 0 13 350 3 430 0 2 5 1 90 >10¹³ 9
その他の特性表はこちら

窒化アルミ(AlN)加工例

その他の加工例・加工サンプル

窒化アルミ(AlN)取り扱い標準寸法表

厚み 長さ 長さ
5 210 210
10 210 210
15 210 210
20 210 210
4 300 300