各種セラミック材料の加工はもちろん
薄膜・厚膜によるメタライズまで
ALUMINUM NITRIDE AlN
窒化アルミはアルミニウムの窒化物であり、非常に熱伝導率が高い素材です。
放熱性、絶縁性、耐熱衝撃性に優れ、基板材料としても注目されています。
窒化アルミ基板にはメタライズ加工が可能です。詳細はお問合せください。
プラズマエッチャー用部品、ウエハーチャック用部品、ステッパー用ウエハー保持冶具、ダミーウエハー、ヒーター均熱板、半導体用基板、薄膜回路基板
主成分 | 色 | 嵩密度 | 吸水率 | 硬度(HV) | 曲げ強度 | 破壊靱性 | ヤング率 | ポアソン比 | 線膨張係数 | 熱放射率 | 熱伝道率 | 絶縁耐力 | 体積抵抗率 | 誘電率 | ||
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[g/cm³] | [%] | [Gpa] | 20°[Mpa] | [Mpa・m½] | [Gpa] | RT~200℃[x10⁻⁶/℃] | RT~400℃[x10⁻⁶/℃] | (100℃) | 20℃ | [kV/mm] | 20℃ | 1MHz | ||||
窒化アルミ | AlN | ベージュ | 3 | 0 | 13 | 350 | 3 | 320 | 0.29 | 2.4 | 4.5 | 0.93 | 170 | 15 | >10¹³ | 8.8 |
窒化アルミ(助剤レス) | AlN | ベージュ | 3.2 | 0 | 13 | 300 | 3 | 430 | 0.29 | 2.4 | 4.5 | 0.93 | 90 | 15 | >10¹³ | 8.8 |
厚み | 長さ | 長さ |
---|---|---|
5 | 210 | 210 |
10 | 210 | 210 |
15 | 210 | 210 |
20 | 210 | 210 |
4 | 300 | 300 |